2016.11.22
중공사형 전구체 분리막의 부분 열처리를 통하여 제조된 CMS 분리막 모듈을 적용하여, 전자산업 공정의 배가스에 포함된 Particle, 수분, 수용성 산성가스 제거를 위해 3단계로 구성된 전처리 공정을 통하여 분리막 공정으로의 이물질 유입을 최소화 하고, 가압된 배가스를 가스 분리 공정으로 공급하기 위하여 Gas Compressor를 통해 3-5 bar의 압력으로 배가스를 공급함으로써 배가스 내의 Carrier gas인 질소를 분리하여 불화가스를 농축하는 기술 |
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